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        P系列真空排氣臺技術參數表格
        • 用途及特點
        • 規格參數
          產品應用
           
          用于電真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、調速管等真空排氣。

           
          主要結構與工作方式
           
          ●手工裝料
          ●立式,單工位、多工位
          ●主機與控柜一體或分開設置
               型號    
                Mode    
                 技術參數  
            Technical Data   
          P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
          主極限真空度
          Ultimate Vacuum
          ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
          烘箱真空
          Baking Chamber Vacuum
          ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
          烘箱工作空間
          Baking Chamber Dimension
          Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
          真空系統
          Vacuum System
          分子泵系統
          Turbo Pump System
          分子泵系統
          Turbo Pump
           System
          離子泵系統
          Ion Pump System
          冷凝泵系統
          Cryopump System
           
          ******溫度
          Max.Temperature
          650℃ 600℃ 600℃ 600℃
          溫度均勻性(軸向)
          Temperature Uniformity
          ≤±5℃三點測溫
          (3 point measurement)
          ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點測溫
          (3 point measurement)
          抽氣速度
          Pumping Speed
          ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
          加熱功率
          Heating Power
          12 KW 18 KW(10可調,8固定)
          (10 adjustable,8 fixed)
          9 KW 10 KW
          總功率
          Total Power
          15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
          加熱方式
          Heating Mode
          外加熱
          Outside Heating
          外加熱
          Outside Heating
          內加熱
          Inside Heating
          內加熱
          Inside Heating


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