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        產品展示
        F型渦輪分子泵
        • 用途及特點
        • 規格參數
          產品用途:Product Applications
           
          ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
           
          主要應用領域:Main applications:
           
          ●表面物理和分析儀器
          ●等離子體物理,空間研究
          ●核聚變裝置
          ●原子束分子束系統,粒子加速器
          ●真空鍍膜
          ●真空冶煉
          ●半導體和光學器件制造

          產品特點:Product Features
           
          ●體積小,安裝和使用方便
          ●理想的動平衡,震動和噪音小
          ●壓力在10-1~10-8pa范圍內有恒定的抽速
          ●陶瓷軸承使用壽命長
          F型渦輪分子泵
          Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
          技術參數Technical specifications:
          型號 
          Model
          FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
          進氣口法蘭 
          Inlet flange  (mm)
          DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
          出氣口法蘭 
          Oulet flange  (mm)
          DN40KF DN63LF DN100LF
          抽氣速度  
          Pumping speed  (L/S)
          450 1400 3500
          極限壓力
          Ultimate pressure
          不烘烤
          Without baking  (Pa)
          6×10-6 6×10-6 6×10-6
          壓縮比
          Compression ratio
          對N2 108 108 108
          對H2 102 102 102
          轉速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
          起動時間  
          Start-up time <(Min)
          5 10 20
          前級壓力  
          Fore pressure <(Pa)
          10 10 10
          建議采用的前級泵
          Recommended backing pump  (L/s)
          8 15 30
          冷卻水溫度
          Cooling water temperature <(℃)
          ≤25 ≤25 ≤25
          冷卻水壓力
          Cooling water pressure (Mpa)
          0.196 0.196 0.196
          泵體烘烤溫度
          Temperature of baking <(℃)
          120 120 120
          重量  
          Weight(Kg)
          35 70 125
           

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