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        FF型復合分子泵
        • 用途及特點
        • 規格參數
           
          產品用途:Product Applications
           
          ●FF型復合分子泵用來獲得高真空和超高真空,其廣泛應用于高能加速器、可控熱核反應裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導體和光學元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術的電子、冶金、化工、科研等眾多領域。

           
          產品特點:Product Features
           
          ●高壓強段保持較大、穩定的抽速;
          ●前級耐壓能力強;
          ●抗沖擊能力強;
          ●易獲得清潔的高真空或超高真空;
          ●設計獨特的轉子,安全性高;
          ●特殊的冷卻系統,散熱性好;
          ●振動小、噪音低;
          ●結構緊湊,安裝、維護方便。
          FF型復合分子泵
          Model FF Compound Molecular Pump
           
          技術參數Technical specifications:

          型號 Model FF-250/1600 FF-160/620
          ******工作壓力Minimum operational pressure(Pa) <1×10-6 <6×10-7
          抽氣速率(對空氣)Pumping speed for air(L/s) 1700 600
          壓縮比Compression ratio 對氮氣 For N2 >108 >109
          對氫氣 For H2 >5×103 >6×103
          進氣口法蘭Inlet flange LF250(DN250  IS0-K) DN160CF
          排氣口法蘭Outlet flange KF50(DN50  IS0-KF) KF40
          啟動時間Starting time(min) ≤8 ≤5
          額定轉速Rated rotational speed (r/min) 27000 27000
          振動值Libration value(μm) ≤0.1 ≤0.1
          注油量Oiling capacity (ml) 210 210
          推薦前級泵Recommended forevacuum pump 2XZ-15D(15L/s) 2XZ-4B/2XZ-8D(4-8L/s)
          軸承Bearing 精密陶瓷球軸承
          Precision ceramic balls bearing
          精密陶瓷球軸承
          Precision ceramic balls bearing
          安裝方式Operational orientation 豎直Vertical(±5°) 豎直Vertical(±5°)
          冷卻方式Cooling method 水冷 Water cooling 水冷 Water cooling
          冷卻水溫度Cooling water temperature(℃) ≤25 ≤25
          冷卻水壓力Cooling water pressure(MPa) 0.196 0.196
          泵體烘烤溫度Pump body baking temperature(℃) ≤100 ≤100
          環境溫度Environment temperature(℃) 5~40 5~40
          重量Weight(Kg) 47 30
           

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